±³À°¼Ò°³
[¹ÝµµÃ¼½Ç¹«°úÁ¤] 8´ë°øÁ¤ ½Ã¸®Áî
±³À°¸ñÇ¥
- ¹ÝµµÃ¼ 8´ë°øÁ¤ Áß Photolithography °øÁ¤ÀÇ ÀýÂ÷ ¹× ÀÇÀÇ¿¡ ´ëÇØ ÀÌÇØÇÏ°í ½ÇÁ¦ ¾÷¹«¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
- Photo °øÁ¤ 8´ë ÀýÂ÷ ¹× Track ±¸¼º, Ç¥¸é ó¸®, PR spin coating¿¡ ´ëÇØ ÀÌÇØÇÏ°í ¼³¸íÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
- Soft bake ¹× Alignment, exposure, Resolution, DOF, NA, ±¤¿ø°ú ÆÄÀå¿¡ ´ëÇØ ÀÌÇØÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ½Ã Á¤È®¼ºÀ» ³ôÀδÙ.
- Photo ºÒ·® »ç·Ê¸¦ ÀÌÇØÇϰí À̸¦ ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ ½Ã ºÒ·®À²À» ³·Ãâ ¼ö ÀÖ´Ù. - Etching °øÁ¤ÀÇ °³¿ä¿Í ¿ë¾î¸¦ ¼³¸íÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
- ÇöóÁÀÇ »ý¼º°ú Ư¡À» ¼³¸íÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
- ´Ù¾çÇÑ Etching °øÁ¤ÀÇ ÀåÁ¡°ú ´ÜÁ¡À» ¼÷ÁöÇÏ°í ¿ø¸®¸¦ ¼³¸íÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±³À°´ë»ó
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ °ü·Ã Á÷¹« Á¾»çÀÚ
°»ç¼Ò°³
°»ç¸í |
Àü°ø |
ÀÚ°Ý ¹× °æ·Â»çÇ× |
¿Â¶óÀα³°»ç |
|
|